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电子级一氧化二氮 N2O

1、基本性质:
无色、微甜味、不燃的惰性气体,化学式为N₂O。在室温下稳定,具有强氧化性和轻微麻醉性。
2、核心用途:
原子层沉积(ALD)与化学气相沉积(CVD)中的氧化源与掺杂剂,用于形成高品质绝缘层和调节半导体薄膜电学性能。
3、关键参数:
纯度极高,主要分为两类:≥99.999% (5N) 和 ≥99.9995% (5N5)。
4、主要用于生成薄膜和调控材料电学性质。

详请咨询

电子级一氧化二氮(N₂O),俗称“笑气”,是半导体和显示面板产业中关键的 “氧化与掺杂介质” ,主要用于生成薄膜和调控材料电学性质。

一、核心参数与应用定位:
1、基本性质:
无色、微甜味、不燃的惰性气体,化学式为N₂O。在室温下稳定,具有强氧化性和轻微麻醉性。
2、核心用途:
原子层沉积(ALD)与化学气相沉积(CVD)中的氧化源与掺杂剂,用于形成高品质绝缘层和调节半导体薄膜电学性能。
3、关键参数:
纯度极高,主要分为两类:≥99.999% (5N) 和 ≥99.9995% (5N5)。有国家标准《GB/T 14600-2025》专门规定其技术规格。
4、主要应用领域:
(1)半导体芯片:沉积高介电常数(High-k)栅极绝缘层(如HfO₂)。
(2)显示面板(LCD/OLED):制造金属氧化物薄膜晶体管(如IGZO)的关键氧化气体。
(3)其他:光伏、LED等。
5、市场:
2025年全球市场约21.23亿元,中国约5.45亿元。

二、详细参数、应用与工艺角色
1. 关键参数与标准
电子级一氧化二氮的核心在于超高纯度和对特定杂质的精准控制。新的国家标准《GB/T 14600-2025》已于2025年11月1日实施。主流产品纯度在 5N (99.999%) 以上,更高端的5N5 (99.9995%) 产品需求也在增长。微量的水、氧、烃类及金属离子杂质都会严重影响薄膜质量和器件性能。
2. 在半导体与显示产业中的核心应用
其核心价值在于提供可控、均匀的氧原子来源:
(1)半导体芯片制造:
作为原子层沉积(ALD) 的高品质氧源,用于制备高介电常数(High-k)栅极绝缘层(如氧化铪HfO₂),这对45纳米以下先进制程至关重要。它也可以用于硅的氧化和掺杂-8-10。
(2)显示面板制造:
是生产金属氧化物薄膜晶体管(如IGZO) 不可或缺的氧化气体。它能形成均匀、高性能的沟道层,从而实现高清、低功耗的OLED及LCD显示屏-10。
3. 供应链与国产化进展
随着国产化替代的推进,国内企业如重庆某企业已能规模化生产6N级(99.9999%)产品并供应头部制造商。福建某企业等领军企业也在积极扩产,以满足日益增长的市场需求。全球市场预计将以约9%的年复合增长率持续增长。

三、重要注意事项:安全与监管
尽管在工业上是合法原料,一氧化二氮也被俗称为“笑气”,在社会上存在被非法滥用的风险。它具有成瘾性和神经毒性,长期吸食会导致严重健康问题。因此,作为危险化学品,其生产、运输和使用受到严格监管。

电子级一氧化二氮(N₂O),俗称“笑气”,是半导体和显示面板产业中关键的 “氧化与掺杂介质” ,主要用于生成薄膜和调控材料电学性质。

一、核心参数与应用定位:
1、基本性质:
无色、微甜味、不燃的惰性气体,化学式为N₂O。在室温下稳定,具有强氧化性和轻微麻醉性。
2、核心用途:
原子层沉积(ALD)与化学气相沉积(CVD)中的氧化源与掺杂剂,用于形成高品质绝缘层和调节半导体薄膜电学性能。
3、关键参数:
纯度极高,主要分为两类:≥99.999% (5N) 和 ≥99.9995% (5N5)。有国家标准《GB/T 14600-2025》专门规定其技术规格。
4、主要应用领域:
(1)半导体芯片:沉积高介电常数(High-k)栅极绝缘层(如HfO₂)。
(2)显示面板(LCD/OLED):制造金属氧化物薄膜晶体管(如IGZO)的关键氧化气体。
(3)其他:光伏、LED等。
5、市场:
2025年全球市场约21.23亿元,中国约5.45亿元。

二、详细参数、应用与工艺角色
1. 关键参数与标准
电子级一氧化二氮的核心在于超高纯度和对特定杂质的精准控制。新的国家标准《GB/T 14600-2025》已于2025年11月1日实施。主流产品纯度在 5N (99.999%) 以上,更高端的5N5 (99.9995%) 产品需求也在增长。微量的水、氧、烃类及金属离子杂质都会严重影响薄膜质量和器件性能。
2. 在半导体与显示产业中的核心应用
其核心价值在于提供可控、均匀的氧原子来源:
(1)半导体芯片制造:
作为原子层沉积(ALD) 的高品质氧源,用于制备高介电常数(High-k)栅极绝缘层(如氧化铪HfO₂),这对45纳米以下先进制程至关重要。它也可以用于硅的氧化和掺杂-8-10。
(2)显示面板制造:
是生产金属氧化物薄膜晶体管(如IGZO) 不可或缺的氧化气体。它能形成均匀、高性能的沟道层,从而实现高清、低功耗的OLED及LCD显示屏-10。
3. 供应链与国产化进展
随着国产化替代的推进,国内企业如重庆某企业已能规模化生产6N级(99.9999%)产品并供应头部制造商。福建某企业等领军企业也在积极扩产,以满足日益增长的市场需求。全球市场预计将以约9%的年复合增长率持续增长。

电子级一氧化二氮(N₂O),俗称“笑气”,是半导体和显示面板产业中关键的 “氧化与掺杂介质” ,主要用于生成薄膜和调控材料电学性质。

核心参数与应用定位:
1、基本性质:
无色、微甜味、不燃的惰性气体,化学式为N₂O。在室温下稳定,具有强氧化性和轻微麻醉性。
2、核心用途:
原子层沉积(ALD)与化学气相沉积(CVD)中的氧化源与掺杂剂,用于形成高品质绝缘层和调节半导体薄膜电学性能。
3、关键参数:
纯度极高,主要分为两类:≥99.999% (5N) 和 ≥99.9995% (5N5)。有国家标准《GB/T 14600-2025》专门规定其技术规格。
4、主要应用领域:
(1)半导体芯片:沉积高介电常数(High-k)栅极绝缘层(如HfO₂)。
(2)显示面板(LCD/OLED):制造金属氧化物薄膜晶体管(如IGZO)的关键氧化气体。
(3)其他:光伏、LED等。