电子级硫化氢 H2S
1、基本性质:
无色、剧毒、易燃,具有强烈“臭鸡蛋”气味的气体。
2、核心用途:
MOCVD工艺中的硫源,用于沉积II-VI族化合物半导体薄膜。
3、关键参数:
纯度要求极高,通常≥99.999% (5N)。有行业标准 T/DLSHXH 006-2020 专门规范。
4、主要应用领域:
半导体(LED、光伏)、光电子(激光器、探测器)、微电子制造等。
电子级硫化氢(H₂S)在半导体等电子工业中主要作为一种关键“硫源”和掺杂剂,用于沉积硫化物薄膜。
一、核心信息汇总:
1、基本性质:
无色、剧毒、易燃,具有强烈“臭鸡蛋”气味的气体。
2、核心用途:
MOCVD工艺中的硫源,用于沉积II-VI族化合物半导体薄膜。
3、关键参数:
纯度要求极高,通常≥99.999% (5N)。有行业标准 T/DLSHXH 006-2020 专门规范。
5、主要应用领域:
半导体(LED、光伏)、光电子(激光器、探测器)、微电子制造等。
二、详细参数、应用与特点
1、关键参数与纯度要求
电子级硫化氢的核心在于超高纯度和对特定杂质的严苛控制。其纯度通常要求达到 99.999% (5N) 以上,水分、氧和金属杂质含量极低。2020年发布的行业标准 T/DLSHXH 006-2020《电子工业用气体 硫化氢》 为产品的生产、检验和质量控制提供了具体依据。
2、在电子工业中的核心应用
硫化氢主要作为金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺的硫源气体:
(1)沉积硫化物薄膜:
与镉、锌等金属有机源反应,用于制造碲镉汞(HgCdTe)红外探测器、硫化锌(ZnS)窗口材料等,是光电子和红外技术的关键材料。
(2)掺杂与制备特种材料:
在半导体激光器、LED以及某些特种玻璃的制造中,也扮演着掺杂或反应气体的角色。
3、行业现状与国产化
电子级硫化氢属于高技术壁垒的特种气体,过去长期依赖进口。目前,国内产业正处在国产替代的关键阶段。
三、重要注意事项:安全与环保
硫化氢是剧毒气体(低浓度有恶臭,高浓度可迅速麻痹嗅觉致人死亡),且易燃易爆,其生产、运输和使用必须严格遵守危险化学品管理规范。环保方面,将工业废气中的硫化氢高效转化为硫磺和氢气等资源,是一项重要的绿色技术。
四、总而言之,电子级硫化氢是化合物半导体和光电器件制造中不可或缺的特种硫源。它的高纯度直接决定了如红外探测器等高端光电元件的性能。当前,该领域正处于技术攻关和国产化替代的重要时期。
电子级硫化氢(H₂S)在半导体等电子工业中主要作为一种关键“硫源”和掺杂剂,用于沉积硫化物薄膜。
一、核心信息汇总:
1、基本性质:
无色、剧毒、易燃,具有强烈“臭鸡蛋”气味的气体。
2、核心用途:
MOCVD工艺中的硫源,用于沉积II-VI族化合物半导体薄膜。
3、关键参数:
纯度要求极高,通常≥99.999% (5N)。有行业标准 T/DLSHXH 006-2020 专门规范。
5、主要应用领域:
半导体(LED、光伏)、光电子(激光器、探测器)、微电子制造等。
二、详细参数、应用与特点
1、关键参数与纯度要求
电子级硫化氢的核心在于超高纯度和对特定杂质的严苛控制。其纯度通常要求达到 99.999% (5N) 以上,水分、氧和金属杂质含量极低。2020年发布的行业标准 T/DLSHXH 006-2020《电子工业用气体 硫化氢》 为产品的生产、检验和质量控制提供了具体依据。
2、在电子工业中的核心应用
硫化氢主要作为金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺的硫源气体:
(1)沉积硫化物薄膜:
与镉、锌等金属有机源反应,用于制造碲镉汞(HgCdTe)红外探测器、硫化锌(ZnS)窗口材料等,是光电子和红外技术的关键材料。
(2)掺杂与制备特种材料:
在半导体激光器、LED以及某些特种玻璃的制造中,也扮演着掺杂或反应气体的角色。
3、行业现状与国产化
电子级硫化氢属于高技术壁垒的特种气体,过去长期依赖进口。目前,国内产业正处在国产替代的关键阶段。
电子级硫化氢(H₂S)在半导体等电子工业中主要作为一种关键“硫源”和掺杂剂,用于沉积硫化物薄膜。
电子级硫化氢的核心在于超高纯度和对特定杂质的严苛控制。其纯度通常要求达到 99.999% (5N) 以上,水分、氧和金属杂质含量极低。



当前位置: